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    氮化鎵薄膜於氮化鋁/石墨烯/藍寶石基板之成長與特性研究
    • 材料科學與工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 梁鐘奕 指導教授: 柯文政
    • 本篇論文呈現了氮化鋁緩衝層結構之於石墨烯/藍寶石基板上製備高品質氮化鎵薄膜的重要性。本文使用低壓化學氣相沉積法(LPCVD)在在藍寶石基板上成長石墨烯。首先會在兩吋藍寶石基板上蒸鍍一層銅膜以便於獲取…
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